目前,我国正处于半导体行业产能扩张的历史性阶段,面临需求量不断增长,生产的精细化程度不断提升,人工成本不断上升的局面,传统的人力搬运物料触及生产质量和生产效率的瓶颈,智佳能自主研发的半导体自动化物料搬运系统AMHS应运而生。
该系统能够有效利用有限的洁净室生产空间,提高生产设备的效率,缩短制品周期时间等。因此,优化AMHS系统运行效率,对于提升半导体制造企业的竞争力有着重要影响。
智佳能半导体AMHS系统的四大核心设备为STK Foup存储系统、OHT空中搬运系统、AGV自动搬运系统、Tower Lift提升系统,系统可对FOUP晶圆传送盒高效平稳地运输,帮助半导体晶圆厂实现大规模量产条件下高效、安全、无尘的24小时不间断全自动搬运和仓储。
高速稳定运转
运行过程中,在保证振动小于0.5G的重要参数前提下,OHT天车突破3.5m/s的直线速度,在确保其稳定性、安全性的同时,大幅提升晶圆片传送效率,可承载日均10w+次晶圆盒传送量。
无人化自动搬运
通过全自动控制软件智能调度天车搬运系统、大型存储设备及空中缓存单元,实现晶圆厂无人化运转,打造“黑灯工厂”。同时,大幅减少人工灰尘来源,满足洁净生产环境,在绿色低碳、节能降本的前提下,确保晶圆品质及良率。
3D孪生数字化管控
运用数字孪生技术,将3D虚拟现实技术与工业制造有机融合,帮助实现半导体工厂、产线、设备、部件可视化运营,通过实时监控、即时调整、趋势预测、算法优化等功能,确保人流、物流及信息流的畅通,适应高规格、大批量、先进制程晶圆制造要求。
目前,该方案已在我国某重要的高端核心电子器件基地、半导体新器件新技术创新基地成功应用,为半导体生产线的稳定运行和高效产出提供了有力的支撑。
