11月14日，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”）上交所科创板首发上市申请过会并提交注册。

招股书显示，恒运昌主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务。公司引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。

恒运昌的核心产品等离子体射频电源系统是半导体制程工艺中薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶及键合等工艺控制的关键，直接决定设备工艺能力、产品良率。

公司一直以来高度重视研发工作，招股书显示，2022年-2024年及2025年1-6月，恒运昌的研发费用分别为2,154.21万元、3,696.37万元、5,528.00万元和4,330.84万元，占营业收入的比例分别为13.62%、11.36%、10.22%和14.24%。招股书显示，公司自主研发的第二代产品 Bestda 系列可支撑 28 纳米制程，第三代产品 Aspen 系列可支撑 7-14 纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。

业绩方面，招股书显示，2022年-2024年，恒运昌的营业收入分别为15,815.80万元、32,526.85万元、54,079.03 万元，2022年-2024 年营业收入复合增长率高达84.91%。2022年-2024年，归属于母公司股东的净利润分别为2,618.79 万元、7,982.73 万元、14,154.02 万元，2022年-2024 年复合增长率高达 131.87%。

此次，恒运昌拟募集资金14.69亿元，所募资金投向沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目及补充流动资金。公司计划通过本次发行上市，进一步加大资金投入和研发投入，继续推动半导体设备核心零部件的国产化进程，助力提升我国半导体产业链供应链的韧性和安全水平。